Titan-Aluminium-Ziel

Einführung in Titan-Aluminium-Ziele

Das übliche Atomverhältnis von Titan und Aluminium beträgt Ti33/Al67 und Ti50/Al50. Die Abmessungen sind 18 mm x 154 mm x 754 mm. Wir fertigen Legierungstargets üblicherweise nach Kundenzeichnung. Einige Targets weisen Stufen oder Löcher auf.

Titan-Aluminium-Legierungen sind silberweiße Metalle. Sie zeichnen sich durch geringe Dichte und hohe Festigkeit aus. TiAl-Legierungen finden breite Anwendung in der Vakuumbeschichtungsindustrie. Sie können zu Legierungstargets mit bestimmten chemischen Verhältnissen verarbeitet werden. Titan-Aluminium-Legierungen sind auch ein Rohmaterial für Magnetron-Sputterbeschichtungen. Bei der Anwendung von TiAl-Legierungen in Vakuumbeschichtungs-Sputteranwendungen liegen die üblichen Atomverhältnisse von Titan und Aluminium bei 90/10, 80/20, 70/30, 50/50, 30/70, 20/80 und 10/90. Bei einem Titananteil von über 50 % wird das Vakuumgussverfahren angewendet. Bei sinkendem Titan- und steigendem Aluminiumanteil muss die TiAl-Legierung pulvermetallurgisch verarbeitet werden, um die Zielvorgaben zu erfüllen.